14.基礎科学 Fundamental sciences
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(ナノ・マイクロ加工,ナノメカニクス,センシングデバイス・システム)
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1.NEMS/MEMSの動特性評価のためのオペランドプロファイリング技術(KMR24051)
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2.立体ナノ構造ボトムアップ加工技術とその応用(KMR24052)
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3.ナノメカニカル構造機能化とそのセンサ応用(KMR24053)
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